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資料情報
各蔵書資料に関する詳細情報です。
No. |
所蔵館 |
配架場所 |
請求記号 |
資料番号 |
資料種別 |
状態 |
個人貸出 |
在庫
|
1 |
西部図書館 | 一般書庫 | 5498/73/ | 1101716429 | 参考 | 在庫 | 不可 |
○ |
書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
タイトルコード |
1000000005274 |
書誌種別 |
図書 |
書名 |
半導体製造装置用語辞典 |
書名ヨミ |
ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン |
版表示 |
第5版 |
言語区分 |
日本語 |
著者名 |
日本半導体製造装置協会/編
|
著者名ヨミ |
ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ |
出版地 |
東京 |
出版者 |
日刊工業新聞社
|
出版年月 |
2000.11 |
本体価格 |
¥4700 |
ISBN |
4-526-04666-3 |
数量 |
588p |
大きさ |
22cm |
分類記号 |
549.8
|
件名 |
半導体-辞典
|
内容紹介 |
半導体産業の発展は日本の産業基盤強化に大きく寄与し、経済への波及効果も非情に大きい。急速な技術進展を背景に、21世紀の新技術に適用できる用語辞典をめざす。97年刊に次ぐ改訂第5版。 |
内容細目
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