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書誌情報サマリ

書名

電子線リソグラフィ教本　

著者名 横山 浩／監修
著者名ヨミ ヨコヤマ ヒロシ
出版者 オーム社
出版年月 2007.6

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No. 所蔵館 配架場所 請求記号 資料番号 資料種別 状態 個人貸出 在庫
1 西部図書館一般開架5497/119/1102063130一般在庫 可 ○

書誌詳細

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タイトルコード 1000001753123
書誌種別 図書
書名 電子線リソグラフィ教本　
書名ヨミ デンシセン リソグラフィ キョウホン
言語区分 日本語
著者名 横山 浩／監修 　 秋永 広幸／編
著者名ヨミ ヨコヤマ ヒロシ　アキナガ ヒロユキ
出版地 東京
出版者 オーム社
出版年月 2007.6
本体価格 ￥３０００
ISBN 978-4-274-20415-9
ISBN 4-274-20415-9
数量 13,210p
大きさ 21cm
分類記号 549.7
件名 リソグラフィー 　 電子線
注記 文献:p201～203
内容紹介 「産学連携製造中核人材育成事業」の育成プログラム「電子線リソグラフィ」カリキュラムをもとに構築した実践的なテキスト。電子線リソグラフィの概要、電子線の制御方法や描画技術、レジストなどについて解説。



内容細目

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