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所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

書誌情報サマリ

書名

半導体・MEMSのための超臨界流体 

著者名 近藤 英一/編著
著者名ヨミ コンドウ エイイチ
出版者 コロナ社
出版年月 2012.9


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資料情報

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No. 所蔵館 配架場所 請求記号 資料番号 資料種別 状態 個人貸出 在庫
1 西部図書館一般開架5498/170/1102318293一般在庫 

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1000002338545
書誌種別 図書
書名 半導体・MEMSのための超臨界流体 
書名ヨミ ハンドウタイ メムス ノ タメ ノ チョウリンカイ リュウタイ
言語区分 日本語
著者名 近藤 英一/編著   上野 和良/共著   内田 寛/共著   曽根 正人/共著   生津 英夫/共著   服部 毅/共著   堀 照夫/共著   森口 誠/共著
著者名ヨミ コンドウ エイイチ ウエノ カズヨシ ウチダ ヒロシ ソネ マサト ナマツ ヒデオ ハットリ タケシ ホリ テルオ モリグチ マコト
出版地 東京
出版者 コロナ社
出版年月 2012.9
本体価格 ¥3400
ISBN 978-4-339-00837-1
ISBN 4-339-00837-1
数量 7,227p
大きさ 21cm
分類記号 549.8
件名 半導体   マイクロマシン   超臨界流体
注記 文献:p212~222
内容紹介 気体と液体の性質を併せもつ超臨界流体の新しい応用の切り口を提供するテキスト。半導体・MEMSの製造プロセスと、乾燥、洗浄、堆積などの基本的なプロセスについて丁寧に解説する。
著者紹介 早稲田大学大学院博士前期課程修了(資源および金属工学専攻)。川崎製鐵ハイテク研究所主任研究員、IMECエキスパート研究員などを経て、山梨大学教授。



内容細目

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2012
549.8
半導体 マイクロマシン 超臨界流体
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