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書誌情報サマリ

書名

マイクロ・ナノ領域の超精密技術 

著者名 日本学術振興会将来加工技術第136委員会/編
著者名ヨミ ニホン ガクジュツ シンコウカイ ショウライ カコウ ギジュツ ダイヒャクサンジュウロク イインカイ
出版者 オーム社
出版年月 2011.3


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資料情報

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No. 所蔵館 配架場所 請求記号 資料番号 資料種別 状態 個人貸出 在庫
1 西部図書館一般開架532/22/1102256520一般在庫 

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1000002179121
書誌種別 図書
書名 マイクロ・ナノ領域の超精密技術 
書名ヨミ マイクロ ナノ リョウイキ ノ チョウセイミツ ギジュツ
言語区分 日本語
著者名 日本学術振興会将来加工技術第136委員会/編
著者名ヨミ ニホン ガクジュツ シンコウカイ ショウライ カコウ ギジュツ ダイヒャクサンジュウロク イインカイ
出版地 東京
出版者 オーム社
出版年月 2011.3
本体価格 ¥5500
ISBN 978-4-274-21005-1
ISBN 4-274-21005-1
数量 9,374p
大きさ 22cm
分類記号 532
件名 機械工作   ナノテクノロジー
注記 文献:章末
内容紹介 超精密微細加工技術から、デバイス創成技術、洗浄技術、表面形状評価、マイクロ・ナノレベルの材料評価技術まで、マイクロ・ナノ領域の超精密技術について紹介する。表面粗さ評価法、硬さ評価法も掲載。



内容細目

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2011
532
機械工作 ナノテクノロジー
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