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書誌情報サマリ

書名

図解半導体製造装置開発の極意と実践　

著者名 辻村 学／著
著者名ヨミ ツジムラ マナブ
出版者 工業調査会
出版年月 2008.12

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No. 所蔵館 配架場所 請求記号 資料番号 資料種別 状態 個人貸出 在庫
1 中央図書館一般開架5498/24/0106104702一般在庫 可 ○

書誌詳細

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タイトルコード 1000001921634
書誌種別 図書
書名 図解半導体製造装置開発の極意と実践　
書名ヨミ ズカイ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ カイハツ ノ ゴクイ ト ジッセン
開発型企業で生き抜くための手引書
言語区分 日本語
著者名 辻村 学／著
著者名ヨミ ツジムラ マナブ
出版地 東京
出版者 工業調査会
出版年月 2008.12
本体価格 ￥２２００
ISBN 978-4-7693-1278-9
ISBN 4-7693-1278-9
数量 188p
大きさ 21cm
分類記号 549.8
件名 半導体
注記 文献:p185
内容紹介 半導体製造用装置の開発及び事業に携わってきた著者が、30年間の開発の歴史の中で実施した5つの革命技術や、開発の5つのルール、特許と論文の書き方などを伝授する。



内容細目

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