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蔵書情報

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所蔵数	1	在庫数	1	予約数	0

書誌情報サマリ

書名	センサ・マイクロマシン工学
著者名	藤田博之／編著
著者名ヨミ	フジタヒロユキ
出版者	オーム社
出版年月	2005.10

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資料情報

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No.	所蔵館	配架場所	請求記号	資料番号	資料種別	状態	個人貸出	在庫
1	西部図書館	一般書庫	50122/21/	1101970237	一般	在庫	可	○

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード	1000000693279
書誌種別	図書
書名	センサ・マイクロマシン工学
書名ヨミ	センサマイクロマシンコウガク
叢書名	EE text
言語区分	日本語
著者名	藤田博之／編著
著者名ヨミ	フジタヒロユキ
出版地	東京
出版者	オーム社
出版年月	2005.10
本体価格	￥３２００
ISBN	4-274-20134-1
数量	8,209p
大きさ	26cm
分類記号	501.22
件名	センサ　マイクロマシン
注記	文献:p199～204
内容紹介	センサとマイクロマシンに関して、その動作原理やつくり方からさまざまな応用に至るまでをわかりやすくまとめた教科書。センサとマイクロマシンをつくる基盤技術、半導体技術を拡張した微細加工法についても述べる。
著者紹介	東京大学大学院電気工学専門課程博士課程修了。工学博士。東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター長教授。

内容細目

No.	内容タイトル	内容著者１	内容著者２	内容著者３	内容著者４
1	1章本書の構成と使い方
2	1・1 センサとマイクロマシン
3	1・2 身の回りにあるセンサ
4	1・3 新たに発展するマイクロマシン
5	1・4 本書の構成と利用法
6	2章センサ・マイクロマシンの概要
7	2・1 センサ・マイクロマシンとは
8	2・2 半導体マイクロマシニング
9	2・3 マイクロマシニングの応用
10	2・4 センサ・マイクロマシン構成要素とその動作原理
11	2・5 設計から性能評価まで
12	2・6 センサ・マイクロマシン技術の特徴と意義
13	2・7 今後の課題とMEMSの学び方
14	3章微細構造製作プロセス技術
15	3・1 フォトリソグラフィ技術
16	3・2 材料除去加工技術
17	3・3 材料付加加工技術
18	3・4 3次元構造の製作(マイクロマシニング)
19	4章物理センサ
20	4・1 物理センサの原理と計測対象
21	4・2 磁気センサ
22	4・3 温度センサ
23	4・4 光センサ
24	4・5 機械量センサ
25	4・6 物理センサの今後の展開
26	5章マイクロアクチュエータとマイクロマシン
27	5・1 マイクロアクチュエータとは
28	5・2 マイクロアクチュエータの動作原理
29	5・3 マイクロアクチュエータの設計
30	5・4 マイクロアクチュエータの応用とマイクロマシン
31	6章化学センサとマイクロ化学システム
32	6・1 化学センサの原理と計測対象
33	6・2 ガスセンサ
34	6・3 イオンセンサ
35	6・4 バイオセンサ
36	6・5 感性化学センサ
37	6・6 マイクロ化学システム
38	6・7 化学センサの今後の展開