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書誌情報サマリ

書名

超微細加工技術 

著者名 徳山 巍/編著
著者名ヨミ トクヤマ タカシ
出版者 オーム社
出版年月 1997.2


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No. 所蔵館配架場所請求記号資料番号資料種別状態個人貸出 在庫
1 西部図書館一般書庫5498/102/1101528634一般在庫 

書誌詳細

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タイトルコード 1000001035885
書誌種別 図書
書名 超微細加工技術 
書名ヨミ チョウビサイ カコウ ギジュツ
叢書名 応用物理学シリーズ
言語区分 日本語
著者名 徳山 巍/編著
著者名ヨミ トクヤマ タカシ
出版地 東京
出版者 オーム社
出版年月 1997.2
本体価格 ¥6500
ISBN 4-274-02332-X
数量 309p
大きさ 22cm
分類記号 549.8
件名 半導体
内容紹介 1.序論 2.光リソグラフィ技術 3.電子線リソグラフィ技術 4.イオンビームリソグラフィ技術 5.X線リソグラフィ技術 6.レジスト材料 7.エッチング技術 8.形状シミュレーション技術 ほか1章



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