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書誌情報サマリ

書名

分光エリプソメトリー　

著者名 藤原 裕之／著
著者名ヨミ フジワラ ヒロユキ
出版者 丸善
出版年月 2003.6

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No. 所蔵館 配架場所 請求記号 資料番号 資料種別 状態 個人貸出 在庫
1 西部図書館一般書庫43357/5/1101857211一般在庫 可 ○

書誌詳細

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タイトルコード 1000001177850
書誌種別 図書
書名 分光エリプソメトリー　
書名ヨミ ブンコウ エリプソメトリー
言語区分 日本語
著者名 藤原 裕之／著
著者名ヨミ フジワラ ヒロユキ
出版地 東京
出版者 丸善
出版年月 2003.6
本体価格 ￥４３００
ISBN 4-621-07253-6
数量 251p
大きさ 21cm
分類記号 433.57
件名 スペクトル分析 　 偏光
内容紹介 分光エリプソメトリーは簡便な高精度測定法としての地位を確立し、半導体から有機薄膜の評価まで広く利用されている。これらの急速な利用拡大を踏まえ、測定技術およびデータ解析を研究者にわかりやすく解説した入門書。
著者紹介 東京工業大学大学院電子化学専攻博士課程修了。電子技術総合研究所任期付研究員等を経て、現在、産業技術総合研究所研究員。



内容細目

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