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所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

書誌情報サマリ

書名

はじめての半導体リソグラフィ技術 

著者名 岡崎 信次/著
著者名ヨミ オカザキ シンジ
出版者 工業調査会
出版年月 2003.6


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資料情報

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No. 所蔵館 配架場所 請求記号 資料番号 資料種別 状態 個人貸出 在庫
1 西部図書館一般書庫5497/107/1101856134一般在庫 

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1000001177858
書誌種別 図書
書名 はじめての半導体リソグラフィ技術 
書名ヨミ ハジメテ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ
叢書名 ビギナーズブックス
叢書番号 29
言語区分 日本語
著者名 岡崎 信次/著   鈴木 章義/著   上野 巧/著
著者名ヨミ オカザキ シンジ スズキ アキヨシ ウエノ タクミ
出版地 東京
出版者 工業調査会
出版年月 2003.6
本体価格 ¥2400
ISBN 4-7693-1224-5
数量 305p
大きさ 21cm
分類記号 549.7
件名 リソグラフィー   半導体
内容紹介 光、電子線、X線・EUVなど様々なリソグラフィ技術の原理、特徴などを述べるとともに、パターン形成に重要なマスク技術、レジスト技術、計測評価技術についてふれる。変遷の激しいリソグラフィ技術の全貌を解説した入門書。



内容細目

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2003
549.7
リソグラフィー 半導体
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