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蔵書情報

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所蔵数	1	在庫数	1	予約数	0

書誌情報サマリ

書名	放電プラズマ工学
著者名	行村建／編著
著者名ヨミ	ユキムラケン
出版者	オーム社
出版年月	2008.4

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資料情報

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No.	所蔵館	配架場所	請求記号	資料番号	資料種別	状態	個人貸出	在庫
1	西部図書館	一般開架	4276/21/	1102115380	一般	在庫	可	○

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード	1000001852753
書誌種別	図書
書名	放電プラズマ工学
書名ヨミ	ホウデンプラズマコウガク
叢書名	EE Text
言語区分	日本語
著者名	行村建／編著
著者名ヨミ	ユキムラケン
出版地	東京
出版者	オーム社
出版年月	2008.4
本体価格	￥３２００
ISBN	978-4-274-20526-2
ISBN	4-274-20526-2
数量	11,233p
大きさ	26cm
分類記号	427.6
件名	プラズマ物理学　放電
注記	文献:p223～227
内容紹介	プラズマを初めて学ぶ学生を対象に、プラズマの全体像、プラズマの挙動に関する物理、もたらされる応用を平易な用語でわかりやすく解説。独習用としても役立つよう、理論式の展開や生ずる現象の物理的な解釈もていねいに記述。
著者紹介	同志社大学大学院工学研究科電気工学専攻博士課程修了。工学博士。同志社大学工学部電気工学科教授。

内容細目

No.	内容タイトル	内容著者１	内容著者２	内容著者３	内容著者４
1	1章プラズマとは
2	1・1 プラズマの発生と維持
3	1・2 プラズマの発生と性質
4	演習問題
5	2章プラズマの発生形態と回路技術
6	2・1 放電の形態
7	2・2 プラズマの生成
8	2・3 電源・回路技術
9	演習問題
10	3章気体および荷電粒子の運動
11	3・1 熱平衡と非熱平衡
12	3・2 粒子の分布
13	3・3 電離と励起
14	3・4 密度と温度
15	3・5 電子放出
16	3・6 プラズマの発生
17	3・7 電界中の運動
18	3・8 一様定常磁界中の運動
19	3・9 一様定常磁界と電界中の運動
20	3・10 水素原子の模型
21	演習問題
22	4章プラズマの集団的性質とプラズマ計測
23	4・1 プラズマの集団現象
24	4・2 イオンシースの形成
25	4・3 プラズマの計測
26	演習問題
27	5章環境改善へのプラズマ応用
28	5・1 環境問題とプラズマ
29	5・2 空気をきれいに
30	5・3 水をきれいに
31	5・4 資源を大切に
32	演習問題
33	6章材料プロセスへのプラズマ応用
34	6・1 集積回路について
35	6・2 微細構造の作製プロセス
36	6・3 プラズマ装置とプラズマの役割
37	6・4 プラズマに接した固体表面で何が起こるか
38	6・5 集積回路製造用プラズマ材料プロセスの具体例
39	6・6 まとめ
40	演習問題
41	7章光源へのプラズマ応用
42	7・1 プラズマによる発光
43	7・2 照明用光源
44	7・3 紫外線の応用
45	7・4 真空紫外の発生とその応用
46	演習問題
47	8章熱プラズマ加工技術
48	8・1 熱プラズマ加工技術について
49	8・2 熱プラズマとは
50	8・3 熱プラズマ成膜技術
51	8・4 熱プラズマ加工技術
52	演習問題