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資料情報
各蔵書資料に関する詳細情報です。
| No. |
所蔵館 |
配架場所 |
請求記号 |
資料番号 |
資料種別 |
状態 |
個人貸出 |
在庫
|
| 1 |
西部図書館 | 一般開架 | 5496/10/ | 1102141460 | 一般 | 在庫 | 可 |
○ |
書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
| タイトルコード |
1000001908646 |
| 書誌種別 |
図書 |
| 書名 |
薄膜トランジスタ |
| 書名ヨミ |
ハクマク トランジスタ |
| 言語区分 |
日本語 |
| 著者名 |
薄膜材料デバイス研究会／編
|
| 著者名ヨミ |
ハクマク ザイリョウ デバイス ケンキュウカイ |
| 出版地 |
東京 |
| 出版者 |
コロナ社
|
| 出版年月 |
2008.11 |
| 本体価格 |
￥３０００ |
| ISBN |
978-4-339-00802-9 |
| ISBN |
4-339-00802-9 |
| 数量 |
8,229p |
| 大きさ |
21cm |
| 分類記号 |
549.6
|
| 件名 |
薄膜トランジスタ
|
| 注記 |
文献:p215～224 |
| 内容紹介 |
近年発展目覚しい薄膜トランジスタ(TFT)について、概論および発展史から動作原理、作製技術、各種評価技術、劣化現象や信頼性評価技術、応用技術や将来技術に至るまで、広範囲な知識を系統的に解説する。 |
内容細目
| No. |
内容タイトル |
内容著者１ |
内容著者２ |
内容著者３ |
内容著者４ |
| 1 |
1.序論 |
|
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| 2 |
1.1 薄膜トランジスタ(TFT)とはなにか |
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| 3 |
1.2 TFT発展の歴史 |
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| 4 |
2.TFTの動作原理 |
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| 5 |
2.1 基本的な動作原理 |
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| 6 |
2.2 基礎知識 |
|
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| 7 |
2.3 捕獲準位 |
|
|
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|
| 8 |
2.4 より詳しい動作原理 |
|
|
|
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| 9 |
2.5 種々のTFT |
|
|
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| 10 |
3.TFT作製技術 |
|
|
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| 11 |
3.1 トップゲート構造およびボトムゲート構造 |
|
|
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| 12 |
3.2 水素化非晶質シリコンTFT作製技術 |
|
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| 13 |
3.3 多結晶シリコンTFT作製技術 |
|
|
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| 14 |
3.4 有機TFT作製技術 |
|
|
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|
| 15 |
3.5 酸化物TFT作製技術 |
|
|
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|
| 16 |
4.評価技術 |
|
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| 17 |
4.1 膜厚 |
|
|
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| 18 |
4.2 構造評価 |
|
|
|
|
| 19 |
4.3 組成分析 |
|
|
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|
| 20 |
4.4 光学評価 |
|
|
|
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| 21 |
4.5 電気特性 |
|
|
|
|
| 22 |
5.TFTの劣化現象と信頼性評価技術 |
|
|
|
|
| 23 |
5.1 非晶質シリコンTFTにおける劣化現象 |
|
|
|
|
| 24 |
5.2 低温多結晶シリコンTFTにおける劣化現象 |
|
|
|
|
| 25 |
5.3 酸化物TFTにおける劣化現象 |
|
|
|
|
| 26 |
6.TFTの応用技術 |
|
|
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| 27 |
6.1 TFTのディスプレイ応用 |
|
|
|
|
| 28 |
6.2 TFTのセンサ応用 |
|
|
|
|
| 29 |
7.TFTの将来技術 |
|
|
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| 30 |
7.1 映像ディスプレイ用TFT技術の将来 |
|
|
|
|
| 31 |
7.2 フレキシブルディスプレイ用TFT技術の将来 |
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