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蔵書情報

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所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

書誌情報サマリ

書名

光マイクロマシン 

著者名 沢田 廉士/共著
著者名ヨミ サワダ レンシ
出版者 オーム社
出版年月 2002.11


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資料情報

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No. 所蔵館 配架場所 請求記号 資料番号 資料種別 状態 個人貸出 在庫
1 中央図書館一般開架54995/28/0105721710一般在庫 

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1000000018333
書誌種別 図書
書名 光マイクロマシン 
書名ヨミ ヒカリ マイクロマシン
言語区分 日本語
著者名 沢田 廉士/共著   羽根 一博/共著   日暮 栄治/共著
著者名ヨミ サワダ レンシ ハネ カズヒロ ヒグラシ エイジ
出版地 東京
出版者 オーム社
出版年月 2002.11
本体価格 ¥7500
ISBN 4-274-03589-1
数量 424p
大きさ 22cm
分類記号 549.95
件名 オプトエレクトロニクス   マイクロマシン
内容紹介 半導体微細加工技術の応用により、急速な発展を遂げているマイクロマシン技術。最新の光マイクロマシンを例に、光学を学ぶとともに、根底にある課題の抽出や、新しい光マイクロマシンの提案、設計ができる基礎を学ぶ。
著者紹介 九州大学大学院修士課程修了。現在、NTTマイクロシステムインテグレーション研究所勤務。



内容細目

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2002
2002
549.95
オプトエレクトロニクス マイクロマシン
大川出版賞
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