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書誌情報サマリ

書名

プラズマイオンプロセスとその応用 

著者名 電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会/編
著者名ヨミ デンキ ガッカイ プラズマ イオン コウド リヨウ プロセス チョウサ センモン イインカイ
出版者 オーム社
出版年月 2005.10


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資料情報

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No. 所蔵館 配架場所 請求記号 資料番号 資料種別 状態 個人貸出 在庫
1 西部図書館一般書庫5491/17/1101971950一般在庫 

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1000000694852
書誌種別 図書
書名 プラズマイオンプロセスとその応用 
書名ヨミ プラズマ イオン プロセス ト ソノ オウヨウ
言語区分 日本語
著者名 電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会/編
著者名ヨミ デンキ ガッカイ プラズマ イオン コウド リヨウ プロセス チョウサ センモン イインカイ
出版地 東京
出版者 オーム社
出版年月 2005.10
本体価格 ¥4900
ISBN 4-274-20123-6
数量 11,279p
大きさ 22cm
分類記号 549.1
件名 イオンビーム加工   プラズマ物理学
注記 文献:章末
内容紹介 プラズマイオンプロセス法にかかわるプラズマ技術、イオン運動の物理、三次元基材に適用する条件などの物理に関する事柄から、生産部品の改質技術、半導体への適用技術等の応用技術まで、平成13年からの調査研究をまとめる。



内容細目

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2005
2005
549.1
イオンビーム加工 プラズマ物理学
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