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書誌情報サマリ

書名

はじめての薄膜作製技術　

著者名 草野 英二／著
著者名ヨミ クサノ エイジ
出版者 工業調査会
出版年月 2006.3

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No. 所蔵館 配架場所 請求記号 資料番号 資料種別 状態 個人貸出 在庫
1 東部図書館一般書庫5498/23/2101905651一般在庫 可 ○

書誌詳細

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タイトルコード 1000000137803
書誌種別 図書
書名 はじめての薄膜作製技術　
書名ヨミ ハジメテ ノ ハクマク サクセイ ギジュツ
叢書名 ビギナーズブックス
叢書番号 40
言語区分 日本語
著者名 草野 英二／著
著者名ヨミ クサノ エイジ
出版地 東京
出版者 工業調査会
出版年月 2006.3
本体価格 ￥２２００
ISBN 4-7693-1252-0
数量 191p
大きさ 21cm
分類記号 549.8
件名 薄膜
内容紹介 コンピュータ、デジタル家電からメガネレンズまで、基盤技術として欠くことのできない薄膜作成技術について、はじめて学ぶ人ができる限り体系的に理解できるように解説する。
著者紹介 神戸大学大学院工学研究科工業化学専攻修士課程修了。金沢工業大学教授。日本真空協会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会部会長。



内容細目

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