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書誌情報サマリ

書名

はじめての半導体洗浄技術　

著者名 小川 洋輝／著
著者名ヨミ オガワ ヒロキ
出版者 工業調査会
出版年月 2002.3

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No. 所蔵館 配架場所 請求記号 資料番号 資料種別 状態 個人貸出 在庫
1 西部図書館一般書庫5498/122/1101787529一般在庫 可 ○

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1000000968627
書誌種別 図書
書名 はじめての半導体洗浄技術　
書名ヨミ ハジメテ ノ ハンドウタイ センジョウ ギジュツ
叢書名 ビギナーズブックス
叢書番号 23
言語区分 日本語
著者名 小川 洋輝／著 　 堀池 靖浩／著
著者名ヨミ オガワ ヒロキ　ホリイケ ヤスヒロ
出版地 東京
出版者 工業調査会
出版年月 2002.3
本体価格 ￥２３００
ISBN 4-7693-1212-1
数量 276p
大きさ 21cm
分類記号 549.8
件名 半導体 　 洗浄法
内容紹介 超LSIはクリーンネスとの闘いである。半導体洗浄技術の全貌について、技術の位置づけ、歴史、基礎的事項、具体的手法、評価法、今後の展望までを詳細に解説する。



内容細目

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