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書誌情報サマリ

書名

EUV光源の開発と応用　

著者名 豊田 浩一／監修
著者名ヨミ トヨダ コウイチ
出版者 シーエムシー出版
出版年月 2013.3

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No. 所蔵館 配架場所 請求記号 資料番号 資料種別 状態 個人貸出 在庫
1 西部図書館一般書庫54995/48/1102331230一般在庫 可 ○

書誌詳細

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タイトルコード 1000100039499
書誌種別 図書
書名 EUV光源の開発と応用　
書名ヨミ イーユーヴイ コウゲン ノ カイハツ ト オウヨウ
叢書名 エレクトロニクスシリーズ
版表示 普及版
言語区分 日本語
著者名 豊田 浩一／監修 　 岡崎 信次／監修
著者名ヨミ トヨダ コウイチ　オカザキ シンジ
出版地 東京
出版者 シーエムシー出版
出版年月 2013.3
本体価格 ￥４４００
ISBN 978-4-7813-0709-1
ISBN 4-7813-0709-1
数量 6,273p
大きさ 26cm
分類記号 549.95
件名 紫外線 　 リソグラフィー
内容紹介 EUV露光装置の特質、露光装置側から見たEUV光源開発の課題、マスクの状況、レジスト材料の課題など、それぞれ専門的な開発事項についてより広い視点で解説。



内容細目

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