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書誌情報サマリ

書名

液浸リソグラフィのプロセスと材料　

著者名 東木 達彦／監修
著者名ヨミ ヒガシキ タツヒコ
出版者 シーエムシー出版
出版年月 2012.8

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No. 所蔵館 配架場所 請求記号 資料番号 資料種別 状態 個人貸出 在庫
1 西部図書館一般書庫5497/129/1102317222一般在庫 可 ○

書誌詳細

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タイトルコード 1000002330051
書誌種別 図書
書名 液浸リソグラフィのプロセスと材料　
書名ヨミ エキシン リソグラフィ ノ プロセス ト ザイリョウ
叢書名 エレクトロニクスシリーズ
版表示 普及版
言語区分 日本語
著者名 東木 達彦／監修
著者名ヨミ ヒガシキ タツヒコ
出版地 東京
出版者 シーエムシー出版
出版年月 2012.8
本体価格 ￥３８００
ISBN 978-4-7813-0550-9
ISBN 4-7813-0550-9
数量 5,243p
大きさ 26cm
分類記号 549.7
件名 リソグラフィー
内容紹介 第一線で活躍する研究者らが、露光装置、トラック、レジスト材料、マスク、シミュレーションなど、液浸リソグラフィのプロセスと材料に関する最新の技術開発動向、課題、将来展望などを解説する。



内容細目

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