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蔵書情報

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所蔵数	1	在庫数	1	予約数	0

書誌情報サマリ

書名	酸化物薄膜・接合・超格子
著者名	澤彰仁／著
著者名ヨミ	サワアキヒト
出版者	内田老鶴圃
出版年月	2017.4

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資料情報

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No.	所蔵館	配架場所	請求記号	資料番号	資料種別	状態	個人貸出	在庫
1	西部図書館	一般開架	5498/194/	1102469903	一般	在庫	可	○

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード	1000100495221
書誌種別	図書
書名	酸化物薄膜・接合・超格子
書名ヨミ	サンカブツハクマクセツゴウチョウコウシ
	界面物性と電子デバイス応用
叢書名	物質・材料テキストシリーズ
言語区分	日本語
著者名	澤彰仁／著
著者名ヨミ	サワアキヒト
出版地	東京
出版者	内田老鶴圃
出版年月	2017.4
本体価格	￥４６００
ISBN	978-4-7536-2309-9
ISBN	4-7536-2309-9
数量	8,324p
大きさ	21cm
分類記号	549.8
件名	薄膜　酸化物
内容紹介	酸化物薄膜の応用研究を主眼に置きながら、代表的な薄膜作製技術を原理とともに紹介。半導体物理のモデル・理論をベースに各種接合界面の電子状態・バンド構造を説明し、酸化物接合界面の特徴とデバイス応用の研究例も解説。
目次タイトル	第1章薄膜作製・評価・微細加工技術
	1.1 薄膜作製法　1.2 薄膜評価技術　1.3 微細加工技術
	第2章酸化物薄膜成長
	2.1 酸化と薄膜作製条件　2.2 エピタキシャル薄膜　2.3 エピタキシャル歪と薄膜物性
	第3章酸化物ダイオード
	3.1 ショットキー接合　3.2 p‐n接合　3.3 酸化物ショットキー接合とp‐n接合
	第4章酸化物トンネル接合
	4.1 トンネル効果と接合の伝導特性　4.2 磁気トンネル接合　4.3 超伝導トンネル接合
	第5章酸化物超格子と2次元電子系
	5.1 超格子作製法・評価法　5.2 超格子の電子状態と伝導現象　5.3 酸化物界面の2次元電子系　5.4 酸化物超格子
	第6章酸化物電界効果トランジスタ
	6.1 電界効果トランジスタ　6.2 High‐kゲート絶縁膜　6.3 酸化物半導体電界効果トランジスタ　6.4 強相関酸化物電界効果トランジスタ
	第7章酸化物薄膜の不揮発性メモリ応用
	7.1 強誘電体メモリ　7.2 抵抗変化不揮発性メモリ