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蔵書情報

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所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

書誌情報サマリ

書名

これからのMEMS 

著者名 江刺 正喜/共著
著者名ヨミ エサシ マサヨシ
出版者 森北出版
出版年月 2016.6


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資料情報

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No. 所蔵館 配架場所 請求記号 資料番号 資料種別 状態 個人貸出 在庫
1 西部図書館一般開架530/10/1102442051一般在庫 

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1000100397228
書誌種別 図書
書名 これからのMEMS 
書名ヨミ コレカラ ノ メムス
LSIとの融合
言語区分 日本語
著者名 江刺 正喜/共著   小野 崇人/共著
著者名ヨミ エサシ マサヨシ オノ タカヒト
出版地 東京
出版者 森北出版
出版年月 2016.6
本体価格 ¥2600
ISBN 978-4-627-77551-0
ISBN 4-627-77551-0
数量 5,151p
大きさ 22cm
分類記号 530
件名 マイクロマシン
注記 文献:p136〜147
内容紹介 最先端技術MEMS(微小電気機械システム)の世界的権威である著者が、これまで不可能とされた「ヘテロ集積化技術」を中心に、MEMSの今後の開発促進や有効利用について解説する。「はじめてのMEMS」の続編。
著者紹介 1949年宮城県生まれ。東北大学原子分子材料科学高等研究機構教授。工学博士。



内容細目

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2016
530
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