蔵書情報
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書誌情報サマリ
書名 |
これからのMEMS
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著者名 |
江刺 正喜/共著
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著者名ヨミ |
エサシ マサヨシ |
出版者 |
森北出版
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出版年月 |
2016.6 |
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資料情報
各蔵書資料に関する詳細情報です。
No. |
所蔵館 |
配架場所 |
請求記号 |
資料番号 |
資料種別 |
状態 |
個人貸出 |
在庫
|
1 |
西部図書館 | 一般開架 | 530/10/ | 1102442051 | 一般 | 在庫 | 可 |
○ |
書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
タイトルコード |
1000100397228 |
書誌種別 |
図書 |
書名 |
これからのMEMS |
書名ヨミ |
コレカラ ノ メムス |
|
LSIとの融合 |
言語区分 |
日本語 |
著者名 |
江刺 正喜/共著
小野 崇人/共著
|
著者名ヨミ |
エサシ マサヨシ オノ タカヒト |
出版地 |
東京 |
出版者 |
森北出版
|
出版年月 |
2016.6 |
本体価格 |
¥2600 |
ISBN |
978-4-627-77551-0 |
ISBN |
4-627-77551-0 |
数量 |
5,151p |
大きさ |
22cm |
分類記号 |
530
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件名 |
マイクロマシン
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注記 |
文献:p136〜147 |
内容紹介 |
最先端技術MEMS(微小電気機械システム)の世界的権威である著者が、これまで不可能とされた「ヘテロ集積化技術」を中心に、MEMSの今後の開発促進や有効利用について解説する。「はじめてのMEMS」の続編。 |
著者紹介 |
1949年宮城県生まれ。東北大学原子分子材料科学高等研究機構教授。工学博士。 |
内容細目
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