蔵書情報
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書誌情報サマリ
書名 |
よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み
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著者名 |
佐藤 淳一/著
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著者名ヨミ |
サトウ ジュンイチ |
出版者 |
秀和システム
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出版年月 |
2019.12 |
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資料情報
各蔵書資料に関する詳細情報です。
No. |
所蔵館 |
配架場所 |
請求記号 |
資料番号 |
資料種別 |
状態 |
個人貸出 |
在庫
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1 |
西部図書館 | 一般開架 | 5498/198/ | 1102550890 | 一般 | 在庫 | 可 |
○ |
書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
タイトルコード |
1000100766537 |
書誌種別 |
図書 |
書名 |
よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み |
書名ヨミ |
ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ |
|
ファブから検査まで製造装置を俯瞰する |
叢書名 |
図解入門
|
版表示 |
第3版 |
言語区分 |
日本語 |
著者名 |
佐藤 淳一/著
|
著者名ヨミ |
サトウ ジュンイチ |
出版地 |
東京 |
出版者 |
秀和システム
|
出版年月 |
2019.12 |
本体価格 |
¥2000 |
ISBN |
978-4-7980-6037-8 |
ISBN |
4-7980-6037-8 |
数量 |
261p |
大きさ |
21cm |
分類記号 |
549.8
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件名 |
半導体
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注記 |
文献:p261 |
内容紹介 |
洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。 |
著者紹介 |
京都大学大学院工学研究科修士課程修了。ソニー(株)入社、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。著書に「よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」など。 |
内容細目
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