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書誌情報サマリ

書名

プラズマ半導体プロセス工学　

著者名 市川 幸美／共著
著者名ヨミ イチカワ ユキミ
出版者 内田老鶴圃
出版年月 2003.7

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No. 所蔵館 配架場所 請求記号 資料番号 資料種別 状態 個人貸出 在庫
1 西部図書館一般書庫5498/129/1101861690一般在庫 可 ○

書誌詳細

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タイトルコード 1000001178261
書誌種別 図書
書名 プラズマ半導体プロセス工学　
書名ヨミ プラズマ ハンドウタイ プロセス コウガク
成膜とエッチング入門
言語区分 日本語
著者名 市川 幸美／共著 　 佐々木 敏明／共著 　 堤井 信力／共著
著者名ヨミ イチカワ ユキミ　ササキ トシアキ　テイイ シンリキ
出版地 東京
出版者 内田老鶴圃
出版年月 2003.7
本体価格 ￥４０００
ISBN 4-7536-5048-0
数量 289p
大きさ 22cm
分類記号 549.8
件名 半導体 　 プラズマ物理学
内容紹介 プラズマプロセスの基礎を学ぼうとする大学生や大学院生、あるいは企業や研究機関において半導体プロセスに携わる開発者や研究者を対象に、プラズマCVDとエッチング技術の基礎を整理、解説する。



内容細目

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