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資料情報
各蔵書資料に関する詳細情報です。
No. |
所蔵館 |
配架場所 |
請求記号 |
資料番号 |
資料種別 |
状態 |
個人貸出 |
在庫
|
1 |
西部図書館 | 一般書庫 | 5498/148/ | 1102128520 | 一般 | 在庫 | 可 |
○ |
書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
タイトルコード |
1000001887624 |
書誌種別 |
図書 |
書名 |
現場のスパッタリング薄膜Q&A |
書名ヨミ |
ゲンバ ノ スパッタリング ハクマク キュー アンド エー |
|
反応性高速スパッタの実務アドバイス |
言語区分 |
日本語 |
著者名 |
小島 啓安/著
|
著者名ヨミ |
コジマ ヒロヤス |
出版地 |
東京 |
出版者 |
日刊工業新聞社
|
出版年月 |
2008.8 |
本体価格 |
¥3000 |
ISBN |
978-4-526-06119-6 |
ISBN |
4-526-06119-6 |
数量 |
9,384p |
大きさ |
21cm |
分類記号 |
549.8
|
件名 |
薄膜
真空技術
|
注記 |
文献:p372~380 |
内容紹介 |
太陽電池や燃料電池などを作る際に役立つスパッタ技術。反応性高速スパッタに関する現場の悩み・疑問をQ&A形式で解説。実際にスパッタリングを使った薄膜作製の開発現場での失敗談も盛り込む。 |
著者紹介 |
東京都立大学大学院工学研究科工業化学専攻修士課程修了。キャノン、旭硝子、技術移転会社等を経て独立。スパッタリングプロセス、薄膜に関するコンサルタント会社(有)アーステックを設立。 |
内容細目
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