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蔵書情報

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所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

書誌情報サマリ

書名

超微細加工の基礎 

著者名 麻蒔 立男/著
著者名ヨミ アサマキ タツオ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2001.9


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資料情報

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No. 所蔵館 配架場所 請求記号 資料番号 資料種別 状態 個人貸出 在庫
1 西部図書館一般書庫5498/82/1101761881一般在庫 

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1000000967009
書誌種別 図書
書名 超微細加工の基礎 
書名ヨミ チョウビサイ カコウ ノ キソ
電子デバイスプロセス技術
版表示 第2版
言語区分 日本語
著者名 麻蒔 立男/著
著者名ヨミ アサマキ タツオ
出版地 東京
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2001.9
本体価格 ¥3900
ISBN 4-526-04812-7
数量 295p
大きさ 21cm
分類記号 549.8
件名1 半導体
内容紹介 半導体部品の製造に使われる加工技術には、非常に多くの微細加工技術が集成され成り立っている。より要求が高まり、加工上の課題も多い超微細加工技術の基礎から応用を平易に解説。93年刊の第2版。
著者紹介 昭和9年愛知県生まれ。静岡大学工学部電子工学科卒業。日電アネルバ(株)取締役、東京理科大学教授等を務めた。著書に「真空のはなし」「やさしい電気磁気学」など。



内容細目

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2007
304
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