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資料情報
各蔵書資料に関する詳細情報です。
| No. |
所蔵館 |
配架場所 |
請求記号 |
資料番号 |
資料種別 |
状態 |
個人貸出 |
在庫
|
| 1 |
西部図書館 | 一般開架 | 5498/147/ | 1102125760 | 一般 | 在庫 | 可 |
○ |
書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
| タイトルコード |
1000001878405 |
| 書誌種別 |
図書 |
| 書名 |
薄膜の基本技術 |
| 書名ヨミ |
ハクマク ノ キホン ギジュツ |
| 版表示 |
第3版 |
| 言語区分 |
日本語 |
| 著者名 |
金原 粲／著
|
| 著者名ヨミ |
キンバラ アキラ |
| 出版地 |
東京 |
| 出版者 |
東京大学出版会
|
| 出版年月 |
2008.7 |
| 本体価格 |
￥２８００ |
| ISBN |
978-4-13-062840-2 |
| ISBN |
4-13-062840-2 |
| 数量 |
12,227p |
| 大きさ |
21cm |
| 分類記号 |
549.8
|
| 件名 |
薄膜
|
| 内容紹介 |
現代の最先端技術を支える材料である「薄膜」。真空装置の基本から、真空蒸着法、スパッタリング法、膜厚測定法、関連技術まで、薄膜技術に関する基本知識を系統的に解説する。 |
| 著者紹介 |
1933年静岡市生まれ。東京大学大学院数物系研究科修了。工学博士。東京大学名誉教授、同大学生産技術研究所共同研究員。著書に「スパタリング現象」など。 |
内容細目
| No. |
内容タイトル |
内容著者１ |
内容著者２ |
内容著者３ |
内容著者４ |
| 1 |
1 真空装置の基本 |
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| 2 |
1.1 真空の必要性 |
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| 3 |
1.2 基本的構成 |
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| 4 |
1.3 真空装置の取り扱いの基本 |
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| 5 |
1.4 真空ポンプの原理 |
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| 6 |
1.5 圧力(真空)測定 |
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| 7 |
1.6 真空排気の基礎 |
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| 8 |
演習問題 |
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| 9 |
2 真空蒸着法 |
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| 10 |
2.1 真空蒸着と基板 |
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| 11 |
2.2 気体に関する基本的な法則と公式 |
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| 12 |
2.3 各種の蒸発法 |
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| 13 |
2.4 蒸着の具体例 |
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| 14 |
演習問題 |
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| 15 |
3 スパッタリング法 |
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| 16 |
3.1 放電とプラズマ |
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| 17 |
3.2 放電プラズマの基礎 |
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| 18 |
3.3 スパッタリング現象 |
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| 19 |
3.4 スパッタリングを用いた薄膜作製装置 |
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| 20 |
演習問題 |
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| 21 |
4 膜厚測定法 |
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| 22 |
4.1 膜厚とは:その多様性 |
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| 23 |
4.2 膜厚の分類 |
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| 24 |
4.3 各種膜厚測定法概論 |
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| 25 |
4.4 各種膜厚測定法 |
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| 26 |
演習問題 |
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| 27 |
5 関連技術 |
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| 28 |
5.1 はじめに |
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| 29 |
5.2 ガラスその他の基板洗浄 |
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| 30 |
5.3 電気抵抗測定 |
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| 31 |
5.4 付着測定 |
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| 32 |
5.5 硬さ測定 |
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| 33 |
5.6 内部応力測定 |
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| 34 |
演習問題 |
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