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所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

書誌情報サマリ

書名

半導体プロセス技術 

著者名 丹呉 浩侑/編
著者名ヨミ タンゴ ヒロユキ
出版者 培風館
出版年月 1998.11


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資料情報

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No. 所蔵館 配架場所 請求記号 資料番号 資料種別 状態 個人貸出 在庫
1 中央図書館一般書庫5498/10/0105520051一般在庫 

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1000000262653
書誌種別 図書
書名 半導体プロセス技術 
書名ヨミ ハンドウタイ プロセス ギジュツ
叢書名 半導体工学シリーズ
叢書番号 9
言語区分 日本語
著者名 丹呉 浩侑/編
著者名ヨミ タンゴ ヒロユキ
出版地 東京
出版者 培風館
出版年月 1998.11
本体価格 ¥5800
ISBN 4-563-03298-0
数量 325p
大きさ 22cm
分類記号 549.8
件名 半導体
内容紹介 現在のLSIの基幹を成すSi MOS LSIプロセスを中心に記述。MOSトランジスタの基本知識等を概観した後、リソグラフィ、不純物導入技術などからプロセス評価技術まで、個々の要素プロセスの内容を体系的に詳述。



内容細目

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1998
1998
549.8
半導体
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