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書誌情報サマリ

書名

クラスターイオンビーム基礎と応用　

著者名 山田 公／編著
著者名ヨミ ヤマダ イサオ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2006.10

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No. 所蔵館 配架場所 請求記号 資料番号 資料種別 状態 個人貸出 在庫
1 西部図書館一般書庫5491/18/1102029361一般在庫 可 ○

書誌詳細

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タイトルコード 1000000178584
書誌種別 図書
書名 クラスターイオンビーム基礎と応用　
書名ヨミ クラスター イオン ビーム キソ ト オウヨウ
次世代ナノ加工プロセス技術
言語区分 日本語
著者名 山田 公／編著
著者名ヨミ ヤマダ イサオ
出版地 東京
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2006.10
本体価格 ￥３２００
ISBN 4-526-05765-7
数量 11,223p
大きさ 21cm
分類記号 549.1
件名 イオンビーム
内容紹介 クラスターイオンビーム技術は、数百から数千の原子の塊(クラスター)からなるイオンを高速で、固体の表面に衝突させて行う表面加工技術。その基礎現象とプロセス技術の応用例をふんだんに盛り込んだ一冊。
著者紹介 京都大学名誉教授。兵庫県立大学高度産業科学技術研究所客員教授。



内容細目

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