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資料情報
各蔵書資料に関する詳細情報です。
No. |
所蔵館 |
配架場所 |
請求記号 |
資料番号 |
資料種別 |
状態 |
個人貸出 |
在庫
|
1 |
西部図書館 | 一般書庫 | 5498/128/ | 1101849800 | 一般 | 在庫 | 可 |
○ |
書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
タイトルコード |
1000001177438 |
書誌種別 |
図書 |
書名 |
薄膜作製応用ハンドブック |
書名ヨミ |
ハクマク サクセイ オウヨウ ハンドブック |
版表示 |
21世紀版 |
言語区分 |
日本語 |
著者名 |
権田 俊一/監修
小川 正毅/編集委員
多賀 康訓/編集委員
|
著者名ヨミ |
ゴンダ シュンイチ オガワ マサキ タガ ヤスノリ |
出版地 |
東京 |
出版者 |
エヌ・ティー・エス
|
出版年月 |
2003.4 |
本体価格 |
¥65000 |
ISBN |
4-86043-019-0 |
数量 |
1冊 |
大きさ |
27cm |
分類記号 |
549.8
|
件名 |
薄膜
|
内容紹介 |
重要な薄膜技術および評価技術、広い分野の各種産業への応用をわかりやすく、実務的に解説。薄膜材料の特性と特徴、薄膜の作製と加工、薄膜・表面・界面の分析と評価、薄膜技術の応用と展望を述べる。95年刊の21世紀版。 |
内容細目
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