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書誌情報サマリ

書名

薄膜工学　

著者名 金原 粲／監修
著者名ヨミ キンバラ アキラ
出版者 丸善出版
出版年月 2011.6

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No. 所蔵館 配架場所 請求記号 資料番号 資料種別 状態 個人貸出 在庫
1 西部図書館一般書庫5498/127/1102267793一般在庫 可 ○

書誌詳細

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タイトルコード 1000002208999
書誌種別 図書
書名 薄膜工学　
書名ヨミ ハクマク コウガク
版表示 第2版
言語区分 日本語
著者名 金原 粲／監修 　 吉田 貞史／編著 　 近藤 高志／編著 　 日本学術振興会薄膜第131委員会／編集企画
著者名ヨミ キンバラ アキラ　ヨシダ サダフミ　コンドウ タカシ　ニホン ガクジュツ シンコウカイ ハクマク ダイヒャクサンジュウイチ イインカイ
出版地 東京
出版者 丸善出版
出版年月 2011.6
本体価格 ￥３８００
ISBN 978-4-621-08414-4
ISBN 4-621-08414-4
数量 12,295p
大きさ 21cm
分類記号 549.8
件名 薄膜
注記 初版:丸善 2003年刊
内容紹介 薄膜技術の基本事項から、微細加工技術を用いた2次元・3次元微細構造の導入や基板の大型化・高速化を可能にした装置技術、新しい薄膜作製手法、原子・分子スケールでの測定技術まで、分かりやすく解説する。



内容細目

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