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蔵書情報

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所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

書誌情報サマリ

書名

MEMSのはなし 

著者名 前田 龍太郎/編著
著者名ヨミ マエダ リュウタロウ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2005.1


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資料情報

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No. 所蔵館 配架場所 請求記号 資料番号 資料種別 状態 個人貸出 在庫
1 中央図書館一般開架530/6/0105850404一般在庫 

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1000000102777
書誌種別 図書
書名 MEMSのはなし 
書名ヨミ メムス ノ ハナシ
叢書名 Science and technology
言語区分 日本語
著者名 前田 龍太郎/編著   池原 毅/著   小林 健/著   単 学伝/著
著者名ヨミ マエダ リュウタロウ イケハラ ツヨシ コバヤシ タケシ タン ガクデン
出版地 東京
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2005.1
本体価格 ¥1400
ISBN 4-526-05404-6
数量 6,126p
大きさ 19cm
分類記号 530
件名 マイクロマシン
内容紹介 電気回路、情報処理、センサ、光デバイスといった分野において頻繁に見られるようになった言葉「MEMS(微小電気機械システム)」。その製造方法、様々な応用と動作原理、設計手法について概説する。
著者紹介 独立行政法人産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門マイクロ実装研究グループグループ長。工学博士。



内容細目

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前田 龍太郎 池原 毅 小林 健 単 学伝
2005
530
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