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書誌情報サマリ

書名

プラズマプロセスによる薄膜の基礎と応用　

著者名 市村 博司／著
著者名ヨミ イチムラ ヒロシ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2005.2

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No. 所蔵館 配架場所 請求記号 資料番号 資料種別 状態 個人貸出 在庫
1 西部図書館一般書庫5498/132/1101944489一般在庫 可 ○

書誌詳細

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タイトルコード 1000000107730
書誌種別 図書
書名 プラズマプロセスによる薄膜の基礎と応用　
書名ヨミ プラズマ プロセス ニ ヨル ハクマク ノ キソ ト オウヨウ
言語区分 日本語
著者名 市村 博司／著 　 池永 勝／著
著者名ヨミ イチムラ ヒロシ　イケナガ マサル
出版地 東京
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2005.2
本体価格 ￥３２００
ISBN 4-526-05420-8
数量 9,276p
大きさ 21cm
分類記号 549.8
件名 薄膜
注記 文献:章末
内容紹介 材料表面の機能を高めるための薄膜技術は、近年、機械部品、電子部品、光学部品などに応用され、急速に発展している。プラズマプロセスによる薄膜技術の全体像を解説する。
著者紹介 1941年東京生まれ。東京工業大学大学院博士課程修了。神奈川工科大学客員教授。



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