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書誌情報サマリ

書名

触媒CVD<Cat‐CVD>の新展開　

著者名 中山 弘／監修
著者名ヨミ ナカヤマ ヒロシ
出版者 シーエムシー出版
出版年月 2013.11

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No. 所蔵館 配架場所 請求記号 資料番号 資料種別 状態 個人貸出 在庫
1 西部図書館一般書庫5014/166/1102355733一般在庫 可 ○

書誌詳細

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タイトルコード 1000100114898
書誌種別 図書
書名 触媒CVD<Cat‐CVD>の新展開　
書名ヨミ ショクバイ シーヴイディー キャット シーヴイディー ノ シンテンカイ
ラジカルを用いる新プロセス技術
叢書名 エレクトロニクスシリーズ
版表示 普及版
言語区分 日本語
著者名 中山 弘／監修
著者名ヨミ ナカヤマ ヒロシ
出版地 東京
出版者 シーエムシー出版
出版年月 2013.11
本体価格 ￥４４００
ISBN 978-4-7813-0740-4
ISBN 4-7813-0740-4
数量 5,276p
大きさ 26cm
分類記号 501.4
件名 薄膜 　 触媒
内容紹介 表面科学、触媒化学、薄膜結晶成長、真空工学をベースに、Cat‐CVDの基礎から装置、材料、応用までを詳細に検討し、今後の実用化に向けた課題を示す。



内容細目

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