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蔵書情報

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所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

書誌情報サマリ

書名

薄膜作製応用ハンドブック 

著者名 権田 俊一/監修
著者名ヨミ ゴンダ シュンイチ
出版者 エヌ・ティー・エス
出版年月 2003.4


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資料情報

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No. 所蔵館 配架場所 請求記号 資料番号 資料種別 状態 個人貸出 在庫
1 西部図書館一般書庫5498/128/1101849800一般在庫 

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1000001177438
書誌種別 図書
書名 薄膜作製応用ハンドブック 
書名ヨミ ハクマク サクセイ オウヨウ ハンドブック
版表示 21世紀版
言語区分 日本語
著者名 権田 俊一/監修   小川 正毅/編集委員   多賀 康訓/編集委員
著者名ヨミ ゴンダ シュンイチ オガワ マサキ タガ ヤスノリ
出版地 東京
出版者 エヌ・ティー・エス
出版年月 2003.4
本体価格 ¥65000
ISBN 4-86043-019-0
数量 1冊
大きさ 27cm
分類記号 549.8
件名 薄膜
内容紹介 重要な薄膜技術および評価技術、広い分野の各種産業への応用をわかりやすく、実務的に解説。薄膜材料の特性と特徴、薄膜の作製と加工、薄膜・表面・界面の分析と評価、薄膜技術の応用と展望を述べる。95年刊の21世紀版。



内容細目

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2003
549.8
薄膜
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