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所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

書誌情報サマリ

書名

はじめての薄膜作製技術 

著者名 草野 英二/著
著者名ヨミ クサノ エイジ
出版者 森北出版
出版年月 2012.11


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No. 所蔵館 配架場所 請求記号 資料番号 資料種別 状態 個人貸出 在庫
1 東部図書館書庫別A5498/23/122102542569一般在庫 

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1000100007605
書誌種別 図書
書名 はじめての薄膜作製技術 
書名ヨミ ハジメテ ノ ハクマク サクセイ ギジュツ
版表示 第2版
言語区分 日本語
著者名 草野 英二/著
著者名ヨミ クサノ エイジ
出版地 東京
出版者 森北出版
出版年月 2012.11
本体価格 ¥2500
ISBN 978-4-627-77452-0
ISBN 4-627-77452-0
数量 7,160p
大きさ 22cm
分類記号 549.8
件名 薄膜
注記 初版:工業調査会 2006年刊
注記 文献:p155〜158
内容紹介 現代社会を支える基盤技術として欠くことのできない薄膜作製技術。その基礎から、真空蒸着法やスパッタリング法といった真空下における薄膜製作方法、薄膜の評価技術、応用までを解説する。
著者紹介 神戸大学大学院工学研究科工業化学専攻修士課程修了。金沢工業大学バイオ・化学部教授。博士(工学)。



内容細目

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2012
549.8
薄膜
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