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書誌情報サマリ

書名

半導体真空技術　

著者名 宇津木 勝／著
著者名ヨミ ウツギ マサル
出版者 東京電機大学出版局
出版年月 2011.5

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No. 所蔵館 配架場所 請求記号 資料番号 資料種別 状態 個人貸出 在庫
1 西部図書館一般開架5498/161/1102264782一般在庫 可 ○

書誌詳細

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タイトルコード 1000002196638
書誌種別 図書
書名 半導体真空技術　
書名ヨミ ハンドウタイ シンクウ ギジュツ
ポイント解説
言語区分 日本語
著者名 宇津木 勝／著
著者名ヨミ ウツギ マサル
出版地 東京
出版者 東京電機大学出版局
出版年月 2011.5
本体価格 ￥２５００
ISBN 978-4-501-41890-8
ISBN 4-501-41890-8
数量 219p
大きさ 22cm
分類記号 549.8
件名 半導体 　 真空技術
注記 「半導体のための真空技術入門」(工業調査会 2007年刊)の改題
注記 文献:p213
内容紹介 できるだけ数式を使わず、かつ論理的、体系的に半導体に関わる真空技術を解説。用語の語源や由来の説明、計算の課程も提示。後半では、真空を応用した各種プロセスも詳述する。



内容細目

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