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書誌情報サマリ

書名

半導体製造装置用語辞典　

著者名 日本半導体製造装置協会／編
著者名ヨミ ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 1991.9

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No. 所蔵館 配架場所 請求記号 資料番号 資料種別 状態 個人貸出 在庫
1 西部図書館一般書庫5498/73/1101001796参考在庫 不可 ○

書誌詳細

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タイトルコード 1000001015198
書誌種別 図書
書名 半導体製造装置用語辞典　
書名ヨミ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン
版表示 第2版
言語区分 日本語
著者名 日本半導体製造装置協会／編
著者名ヨミ ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ
出版地 東京
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 1991.9
本体価格 ￥４１７５
ISBN 4-526-02987-4
数量 419p
大きさ 22cm
分類記号 549.8
件名 半導体－辞典
内容紹介 1.半導体製造フローチャートと装置用語の構成 2.設計工程用語 3.マスク製作工程用語 4.ウェーハ製造工程用語 5.ウェーハ処理工程用語 6.組立工程用語 7.検査工程用語 8.設備・環境工程用語



内容細目

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