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書誌情報サマリ

書名

半導体製造装置用語辞典 

著者名 日本半導体製造装置協会/編
著者名ヨミ ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 1991.9


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No. 所蔵館配架場所請求記号資料番号資料種別状態個人貸出 在庫
1 西部図書館一般書庫5498/73/1101001796参考在庫 不可

書誌詳細

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タイトルコード 1000001015198
書誌種別 図書
書名 半導体製造装置用語辞典 
書名ヨミ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン
版表示 第2版
言語区分 日本語
著者名 日本半導体製造装置協会/編
著者名ヨミ ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ
出版地 東京
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 1991.9
本体価格 ¥4175
ISBN 4-526-02987-4
数量 419p
大きさ 22cm
分類記号 549.8
件名 半導体-辞典
内容紹介 1.半導体製造フローチャートと装置用語の構成 2.設計工程用語 3.マスク製作工程用語 4.ウェーハ製造工程用語 5.ウェーハ処理工程用語 6.組立工程用語 7.検査工程用語 8.設備・環境工程用語



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