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書誌情報サマリ

書名

現場のスパッタリング薄膜Q&A　

著者名 小島 啓安／著
著者名ヨミ コジマ ヒロヤス
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2008.8

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No. 所蔵館 配架場所 請求記号 資料番号 資料種別 状態 個人貸出 在庫
1 西部図書館一般書庫5498/148/1102128520一般在庫 可 ○

書誌詳細

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タイトルコード 1000001887624
書誌種別 図書
書名 現場のスパッタリング薄膜Q&A　
書名ヨミ ゲンバ ノ スパッタリング ハクマク キュー アンド エー
反応性高速スパッタの実務アドバイス
言語区分 日本語
著者名 小島 啓安／著
著者名ヨミ コジマ ヒロヤス
出版地 東京
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2008.8
本体価格 ￥３０００
ISBN 978-4-526-06119-6
ISBN 4-526-06119-6
数量 9,384p
大きさ 21cm
分類記号 549.8
件名 薄膜 　 真空技術
注記 文献:p372～380
内容紹介 太陽電池や燃料電池などを作る際に役立つスパッタ技術。反応性高速スパッタに関する現場の悩み・疑問をQ&A形式で解説。実際にスパッタリングを使った薄膜作製の開発現場での失敗談も盛り込む。
著者紹介 東京都立大学大学院工学研究科工業化学専攻修士課程修了。キャノン、旭硝子、技術移転会社等を経て独立。スパッタリングプロセス、薄膜に関するコンサルタント会社(有)アーステックを設立。



内容細目

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