検索結果書誌詳細

蔵書情報

この資料の蔵書に関する統計情報です。現在の所蔵数 在庫数 予約数などを確認できます。

所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

書誌情報サマリ

書名

プラズマ/プロセスの原理 

著者名 Michael A.Lieberman/著
著者名ヨミ Michael A Lieberman
出版者 丸善
出版年月 2010.1


この資料に対する操作

カートに入れる を押すと この資料を 予約する候補として予約カートに追加します。

いますぐ予約する を押すと 認証後この資料をすぐに予約します。

この資料に対する操作

電子書籍を読むを押すと 電子図書館に移動しこの資料の電子書籍を読むことができます。


登録するリストログインメモ


資料情報

各蔵書資料に関する詳細情報です。

No. 所蔵館配架場所請求記号資料番号資料種別状態個人貸出 在庫
1 西部図書館一般開架4276/16/1102204677一般在庫 

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1000002052069
書誌種別 図書
書名 プラズマ/プロセスの原理 
書名ヨミ プラズマ プロセス ノ ゲンリ
版表示 第2版
言語区分 日本語
著者名 Michael A.Lieberman/著   Allan J.Lichtenberg/著   堀 勝/監修   佐藤 久明/訳
著者名ヨミ Michael A Lieberman Allan J Lichtenberg ホリ マサル サトウ ヒサアキ
著者名原綴 Lieberman Michael A. Lichtenberg Allan J.
出版地 東京
出版者 丸善
出版年月 2010.1
本体価格 ¥18000
ISBN 978-4-621-08223-2
ISBN 4-621-08223-2
数量 29,612p
大きさ 26cm
分類記号 427.6
件名 プラズマ物理学
注記 原タイトル:Principles of plasma discharges and materials processing 原著第2版の翻訳
注記 初版:EDリサーチ社 2001年刊
注記 文献:p591~604
内容紹介 半導体製造装置において使用される弱電離、非平衡プラズマに焦点を絞り、プラズマとプラズマ・プロセスに関する解析方法を基礎から応用まで原理的、解析的、系統的に解説。また、解析結果の適用方法を、多くの例題で提示。
著者紹介 カリフォルニア大学大学院バークレー校電気工学科教授。



内容細目

前のページへ

本文はここまでです。


ページの終わりです。