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書誌情報サマリ

書名

ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎 

著者名 表面技術協会/編
著者名ヨミ ヒョウメン ギジュツ キョウカイ
出版者 コロナ社
出版年月 2013.5


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No. 所蔵館 配架場所 請求記号 資料番号 資料種別 状態 個人貸出 在庫
1 西部図書館一般開架56678/14/1102343142一般在庫 

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1000100057678
書誌種別 図書
書名 ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎 
書名ヨミ ドライ プロセス ニ ヨル ヒョウメン ショリ ハクマク ケイセイ ノ キソ
言語区分 日本語
著者名 表面技術協会/編
著者名ヨミ ヒョウメン ギジュツ キョウカイ
出版地 東京
出版者 コロナ社
出版年月 2013.5
本体価格 ¥2800
ISBN 978-4-339-04631-1
ISBN 4-339-04631-1
数量 6,198p
大きさ 21cm
分類記号 566.7
件名 金属表面処理   薄膜
注記 文献:p186〜195
内容紹介 ドライプロセスの基礎を学ぼうとする初学者のための入門書。ドライプロセスとプラズマに関する概要と歴史的発展過程から、真空とプラズマの基礎、代表的なドライプロセスの原理・原則、薄膜・表面評価分析技術までを解説する。
目次タイトル 1.ドライプロセスとプラズマ
1.1 表面処理 1.2 ドライプロセスと真空 1.3 PVD,CVDとプラズマとのかかわり 1.4 まとめ
2. 真空およびプラズマ
2.1 真空 2.2 プラズマ 2.3 プラズマ診断
3. ドライプロセスによる表面処理と薄膜形成
3.1 真空蒸着 3.2 イオンプレーティング 3.3 スパッタリング法 3.4 ドライエッチング 3.5 イオン注入法 3.6 CVD 3.7 プラズマ浸漬イオン注入 3.8 プラズマ窒化・浸炭
4.分析と評価
4.1 膜厚測定 4.2 表面分析 4.3 密着性評価 4.4 薄膜の内部応力 4.5 薄膜の摩擦・摩耗評価と硬度測定 4.6 ぬれ性・はっ水性評価



内容細目

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2013
566.7
金属表面処理 薄膜
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