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蔵書情報

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所蔵数	1	在庫数	0	予約数	0

書誌情報サマリ

書名	ナノ加工技術ハンドブック
著者名	ナノ加工技術ハンドブック編集委員会／編
著者名ヨミ	ナノカコウギジュツハンドブックヘンシュウイインカイ
出版者	大阪公立大学出版会
出版年月	2025.11

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資料情報

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No.	所蔵館	配架場所	請求記号	資料番号	資料種別	状態	個人貸出	在庫
1	西部図書館	一般開架	549/90/	1102814792	一般	貸出中	可	×

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード	1000101294616
書誌種別	図書
書名	ナノ加工技術ハンドブック
書名ヨミ	ナノカコウギジュツハンドブック
言語区分	日本語
著者名	ナノ加工技術ハンドブック編集委員会／編
著者名ヨミ	ナノカコウギジュツハンドブックヘンシュウイインカイ
出版地	堺
出版者	大阪公立大学出版会
出版年月	2025.11
本体価格	￥４０００
ISBN	978-4-909933-97-3
ISBN	4-909933-97-3
数量	9,457p
大きさ	26cm
分類記号	549
件名	電子工学　ナノテクノロジー
内容紹介	ナノ加工を行う際に必要となる基礎から応用までの知識を、図表を交え包括的にわかりやすく解説。微細加工技術、ナノ加工のプロセス科学と装置、ナノ構造形成技術、評価・計測、デバイス応用を取り上げる。
目次タイトル	1章微細加工技術
	1.はじめに　2.半導体リソグラフィ　3.原子層無損傷プラズマエッチング技術　4.レーザ加工　5.レジスト材料と感光機構
	2章ナノ加工の基礎(プロセス科学と装置)
	1.はじめに　2.電子・イオンビームと固体との相互作用　3.電子ビーム照射のチャージアップ現象　4.ビーム励起表面反応　5.電子ビーム描画装置　6.集束イオンビーム装置
	3章ナノ構造形成技術
	1.はじめに　2.電子ビーム描画技術　3.集束イオンビーム技術　4.ナノインプリント技術　5.走査プローブ顕微鏡によるナノ加工　6.自己組織化　7.ガスクラスターイオンビーム(GCIB)技術　8.近接場リソグラフィ
	4章ナノ構造評価・計測
	1.はじめに　2.走査電子顕微鏡(SEM)　3.透過電子顕微鏡(TEM)　4.測長SEM(CD-SEM)　5.ヘリウムイオン顕微鏡　6.走査プロープ顕微鏡(SPM)
	5章ナノ加工のデバイス応用
	1.はじめに　2.単電子トランジスタ　3.グラフェンデバイス　4.フォトニック結晶デバイス　5.プラズモニックスデバイス　6.ナノメカニカルデバイス　7.バイオナノデバイス　8.バイオミメティクスデバイス