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蔵書情報

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所蔵数	1	在庫数	1	予約数	0

書誌情報サマリ

書名	機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理
著者名	近藤英一／著
著者名ヨミ	コンドウエイイチ
出版者	共立出版
出版年月	2005.10

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No.	所蔵館	配架場所	請求記号	資料番号	資料種別	状態	個人貸出	在庫
1	西部図書館	一般書庫	5498/135/	1101971940	一般	在庫	可	○

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード	1000000695592
書誌種別	図書
書名	機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理
書名ヨミ	キカイザイリョウケイノタメノマイクロナノカコウノゲンリ
言語区分	日本語
著者名	近藤英一／著
著者名ヨミ	コンドウエイイチ
出版地	東京
出版者	共立出版
出版年月	2005.10
本体価格	￥２８００
ISBN	4-320-08154-4
数量	9,226p
大きさ	21cm
分類記号	549.8
件名	薄膜　ナノテクノロジー
注記	文献:p213
内容紹介	気体分子を一種の「工具」としてとらえることを切り口にマイクロ・ナノ加工の物理・化学原理を講述。ドライプロセスの「気体を工具として用いる」原理を中心に解説する。
著者紹介	早稲田大学大学院修了。川崎製鉄ハイテク研究所主任研究員、IMEC研究員などを経て山梨大学助教授。

内容細目

No.	内容タイトル	内容著者１	内容著者２	内容著者３	内容著者４
1	第1章導入
2	第2章真空と気体分子運動論
3	2.1 はじめに
4	2.2 真空と状態方程式
5	2.3 気体の圧力と内部エネルギー
6	2.4 全圧と分圧
7	2.5 気体分子速度の分布則
8	2.6 平均自由行程と衝突確率
9	2.7 真空中での気体の流れ
10	2.8 真空装置
11	第3章プラズマの基礎
12	3.1 はじめに
13	3.2 プラズマとは
14	3.3 電子と気体分子との衝突過程
15	3.4 物体と接するプラズマの構造
16	3.5 プラズマ装置とプラズマ内部の現象
17	第4章物理蒸着法(PVD)
18	4.1 はじめに
19	4.2 真空蒸着法
20	4.3 スパッタリング法
21	第5章薄膜の形成過程
22	5.1 はじめに
23	5.2 薄膜の成長とその表面
24	5.3 核発生
25	5.4 薄膜組織の発達
26	第6章エッチング
27	6.1 はじめに
28	6.2 エッチング加工の分類
29	6.3 ウェットエッチング
30	6.4 物理的ドライエッチング
31	6.5 化学的ドライエッチング
32	6.6 物理的+化学的ドライエッチング
33	第7章フォトリソグラフィ
34	7.1 はじめに
35	7.2 フォトリソグラフィの概要
36	7.3 フォトレジスト工程
37	7.4 フォトマスク
38	7.5 露光
39	付録A 基礎定数表と真空の単位
40	付録B 材料の科学についてのノート
41	B.1 原子の構造と化学結合
42	B.2 結晶形と結晶方位
43	B.3 拡散
44	B.4 平衡
45	B.5 反応速度論
46	付録C 分布関数とマックスウェル-ボルツマン分布
47	C.1 分布関数の性質
48	C.2 マックスウェル-ボルツマン分布
49	付録D 対数目盛と対数グラフ
50	D.1 片対数グラフ
51	D.2 両対数グラフ
52	D.3 方眼紙で対数グラフはつくれるか?