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所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

書誌情報サマリ

書名

薄膜工学 

著者名 日本学術振興会薄膜第131委員会/編集企画
著者名ヨミ ニホン ガクジュツ シンコウカイ ハクマク ダイヒャクサンジュウイチ イインカイ
出版者 丸善出版
出版年月 2016.11


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資料情報

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No. 所蔵館 配架場所 請求記号 資料番号 資料種別 状態 個人貸出 在庫
1 西部図書館一般開架5498/127/1102455891一般在庫 

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1000100454863
書誌種別 図書
書名 薄膜工学 
書名ヨミ ハクマク コウガク
版表示 第3版
言語区分 日本語
著者名 日本学術振興会薄膜第131委員会/編集企画   金原 粲/監修   吉田 貞史/編著   近藤 高志/編著
著者名ヨミ ニホン ガクジュツ シンコウカイ ハクマク ダイヒャクサンジュウイチ イインカイ キンバラ アキラ ヨシダ サダフミ コンドウ タカシ
出版地 東京
出版者 丸善出版
出版年月 2016.11
本体価格 ¥3800
ISBN 978-4-621-30098-5
ISBN 4-621-30098-5
数量 10,302p
大きさ 21cm
分類記号 549.8
件名 薄膜
内容紹介 薄膜分野に携わる研究者・技術者に最適な、基本技術の解説書。薄膜工学の基礎から、薄膜作製法、評価法、薄膜の機能と応用までをまとめる。近年広がりをみせる薄膜技術に対応するため、大幅な改訂を行った第3版。



内容細目

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2016
549.8
薄膜
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