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書誌情報サマリ

書名

CVDハンドブック　

著者名 化学工学会／編集
著者名ヨミ カガク コウガクカイ
出版者 朝倉書店
出版年月 1991.6

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資料情報

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No. 所蔵館 配架場所 請求記号 資料番号 資料種別 状態 個人貸出 在庫
1 西部図書館一般書庫5716/3/1100971463参考在庫 不可 ○

書誌詳細

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タイトルコード 1000000505530
書誌種別 図書
書名 CVDハンドブック　
書名ヨミ シーヴイディー ハンドブック
言語区分 日本語
著者名 化学工学会／編集
著者名ヨミ カガク コウガクカイ
出版地 東京
出版者 朝倉書店
出版年月 1991.6
本体価格 ￥２５０００
ISBN 4-254-25234-X
数量 800,18p
大きさ 22cm
分類記号 571.6
件名 化学蒸着－便覧
内容紹介 CVDは気体原料から薄膜や微粒子などの固体を合成する技術の総称であり、プロセスのどこかに化学反応が関係する。まだ十分に体系化が進んでいないCVDを専門とした、はじめてのハンドブック。



内容細目

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